Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Описание
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
0ID Продукта
6474629
Автор
Издательство
ISBN
978-5-97-290846-2
Item code
6474629
Вес
360
Переплет
твёрдый переплёт
Доступность
На складе
Размер посылки
XS
