Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Book from shelf
Description
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».Product ID
1707879
Publisher
Series
Year
2021
ISBN
978-5-8114-5788-5
Code
12135634
Weight
0.41
Binding
70х100/16
Binding
твердый
Availability
On Stock
Package size
XS
