Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Book from shelf
Description
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».Product ID
2869052
Author
Publisher
Year
2022
ISBN
978-5-97-290846-2
Code
13290446
Weight
0.36
Binding
60х84/16
Binding
твердый
Availability
On Stock
Package size
XS
