Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Книга с полки
Описание
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».ID Продукта
1707879
Издательство
Серия
Год
2021
ISBN
978-5-8114-5788-5
Item code
12135634
Вес
0.41
Формат
70х100/16
Переплет
твердый
Доступность
На складе
Размер посылки
XS
