Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Книга с полки
Описание
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».ID Продукта
2869052
Автор
Издательство
Год
2022
ISBN
978-5-97-290846-2
Item code
13290446
Вес
0.36
Формат
60х84/16
Переплет
твердый
Доступность
На складе
Размер посылки
XS
