Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Книга с полки
Описание
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».ID Продукта
1579463
Автор
Издательство
Год
2019
ISBN
978-5-70-384864-7
Item code
10282266
Вес
0.21
Формат
70х100/16
Доступность
На складе
Размер посылки
XS
