Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Description
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
0Product ID
6474629
Author
Publisher
ISBN
978-5-97-290846-2
images_checked
1728671407
Code
6474629
Weight
360
Binding
твёрдый переплёт
Availability
On Stock
Package size
XS
supplier_category
4714
