Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Raamat riiulist
Kirjeldus
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».Toode ID
6466792
Kirjastaja
Seeria
Aasta
2021
Kaal
609
Köitmine
твёрдый переплёт
Kättesaadavus
Laos
Pakendi suurus
XS
