Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Raamat riiulist
Kirjeldus
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».Toode ID
1707879
Kirjastaja
Seeria
Aasta
2021
ISBN
978-5-8114-5788-5
Kood
12135634
Kaal
0.41
Vorming
70х100/16
Köitmine
твердый
Kättesaadavus
Laos
Pakendi suurus
XS
